原子层沉积应用
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动态随机存取存储器
- A
- Cap 电介质：
- 化学气相沉积：氧化钽、BST
- 原子层沉积：氧化铝、二氧化铪、氧化铝/二氧化铪
- 电极：
- 原子层沉积：氮化钛
- 化学气相沉积：钌、HSG、PH3/N
- 屏障：原子层沉积氮化钛
- 覆盖层：原子层沉积氧化铝
- B
- 栅极电极：硅-锗
- 栅介质：氧化铝、二氧化铪
- 氮化栅极
- C
- 接触栅：原子层沉积氮化钛
- S/D：就地清洁的SEG
- STI：高密度聚乙烯
太阳能电池
- 原子层沉积氧化铝用于碳硅太阳能电池表面钝化
- 布拉姆·霍斯、斯蒂芬·海尔、埃里克·兰格赖斯、理查德·范·德·桑德恩和欧文·凯塞尔斯
荷兰埃因霍芬理工大学应用物理系 - 网址：https://www.tue.nl/en/
原子力显微镜
几乎任何大小和形状的物体都可以被涂覆。示例：原子力显微镜探针
图1. 原子力显微镜探针被30nm（左）和470nm（右）厚的ALE-SnO2M涂层时的扫描电镜图像，Utriainen等，应用 物理学快报， A 68（1999）339
原子力显微镜
MEMS设备上的原子层沉积
在MEMS设备上沉积超薄和保形薄膜，用于：
- 润滑
- 防腐
- 提高硬度
- 调整机械性能
- 光学涂层
- 电荷耗散
- 疏水表面
* T.M.Mayer等，应用物理学快报，82 (2003) 2883.
碳纳米管
三星-5″彩色FED显示器碳纳米管
- R.H. Baughman,
- 科学2002，297，787
- R.H. Baughman,
- 科学2002，297，787
- C, Dekker,
- 科学2001，294，1317.
光纤
标准单模光纤
阻挡膜
简介：防潮层
用密封聚合设备来防止吸水导致的寿命退化
屏障性能要求
气体传感器等
金属氧化物半导体气体传感器
半导体上气体吸附改变其导电性
改变空间电荷区载流子密度的机理
- Yasuhiro Shimizu和同事：
- 传感器和执行器B 52 (1998) 38~44