原子层沉积

原子-壳层

热原子层沉积工艺

  • 系统规范
  • 反应器容积:100 cc ~ 500 cc
  • 过滤器尺寸:变量(0.5 µm~ )
  • 反应器加热:最高300℃

    (反应器器体:230℃以上)
  • 反应器旋转:直流电机驱动器
  • 转速:10 ~ 60 rpm

视图

  • 原子-壳层
  • 细节