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热原子层沉积工艺
系统规范
反应器容积:100 cc ~ 500 cc
过滤器尺寸:变量(0.5 µm~ )
反应器加热:最高300℃
(反应器器体:230℃以上)
反应器旋转:直流电机驱动器
转速:10 ~ 60 rpm
视图
原子-壳层
细节