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  • "어플라이드도 쓰는 국산 ALD 장비, 양산 시장으로 확대"
  • 2025.07.04
씨엔원, 양산형 ALD 장비 시장 도전

정재학 씨엔원 대표는 "마이크로 OLED 디스플레이, 2차전지 배터리 소재, 실리콘관통전극(TSV) 같은 반도체 후공정 분야에서 ALD 기술 수요가 크게 늘어나고 있다"면서 "본격적인 양산용 장비 공급도 성공적으로 이뤄질 것"이라고 전망했다.

"세계적 반도체 장비 기업인 미국 어플라이드머티어리얼즈는 물론 양산형 원자층증착(ALD) 장비 세계 1위인 ASM도 우리 장비로 연구개발(R&D)을 할 정도로 기술력을 인정받았습니다. R&D 시장에서 쌓은 경험을 바탕으로 양산 설비 시장에 본격 진출하겠습니다."

R&D용 ALD 장비 전문기업 씨엔원이 양산 장비 시장 진입을 선언했다. 3일 정재학 씨엔원 대표는 디일렉과의 인터뷰에서 "그동안 주로 기업 연구소나 대학 등 R&D 중심으로 장비를 판매해 왔으나, 실제 제품을 대량 생산하는 양산 라인 시장도 공략하겠다"고 밝혔다.

씨엔원은 지난 2008년 설립 이후 지금까지 총 320대의 R&D용 ALD 장비를 국내외에 공급했다. 세계 최대 반도체 장비 업체인 어플라이드 머티어리얼즈의 미국, 싱가포르, 인도 연구소에는 씨엔원이 공급한 R&D용 ALD 장비 7~8대가 설치돼 운영되고 있다. 글로벌 반도체 장비·소재 기업인 ASM, 고쿠사이, 머크, 에어리퀴드 등도 씨엔원 장비를 구매해 사용 중이다. 삼성종합기술원·삼성전자 연구소에 설치된 씨엔원 R&D용 ALD 장비도 여러대다. 

ALD는 아주 얇고 정밀한 막을 형성하는 공정 기술이다. 서로 다른 화학 물질(전구체)을 번갈아 가며 반복 공급하고 반응시켜 원자 단위 두께로 한 층씩 막을 쌓는다. ALD 공정은 반도체 제조 과정에서 필수적으로 사용된다. 초미세 공정이 필요한 반도체 회로의 절연막, 보호막을 입힐 때 주로 쓴다. 유기발광다이오드(OLED) 디스플레이 분야에선 봉지 공정을, 2차 전지 소재 표면 처리 등에서도 ALD가 쓰인다. 

R&D용 ALD 장비 시장에는 핀란드의 피코선(Picosun), 베네크(Beneq), 국내의 아이작리서치 등 경쟁사들이 존재하긴 한다. 피코선은 어플라이드에 피인수됐다. 정 대표는 "씨엔원이 글로벌 기업과 대학에 지속 장비를 공급할 수 있었던 배경은 고객 요구사항에 맞춘 유연한 설계와 신속 서비스 대응력을 확보했기 때문"이라고 말했다.

정 대표는 "연구용 장비 시장은 매년 성장률이 5~8% 정도로 한계가 있지만, 최근 마이크로 OLED 디스플레이, 2차전지 배터리 소재, 실리콘관통전극(TSV) 같은 반도체 후공정 분야에서 ALD 기술 수요가 크게 늘어나고 있다"면서 "우리가 개발한 파일럿(시험 생산) 장비가 이미 좋은 평가를 받고 있어 본격적인 양산용 장비 공급도 성공적으로 이뤄질 것"이라고 전망했다. 

반도체용 ALD 장비 분야는 ASM과 어플라이드, 고쿠사이 등 글로벌 기업이 시장 대부분을 장악하고 있다. 국내 기업 중에선 원익IPS와 주성엔지니어링이 주요 플레이어다. 하지만 새롭게 떠오르는 분야인 마이크로OLED, 2차전지 배터리, 반도체 후공정 등의 시장은 아직 '강자'가 없다. 

정 대표는 "기존 반도체 양산 장비 시장은 이미 글로벌 대기업들이 장악해 진입이 쉽지 않다"며 "신흥 분야에서 ALD 기술 수요 증가를 기회로 보고 있다"고 했다.


배터리 소재에 활용되는 나노 크기의 미세한 분말 입자에 박막을 균일하게 입히는 아토믹 쉘(Atomic Shell) 장비.
회사 자료에 따르면 씨엔원이 양산 시장에 선보일 대표 장비는 ▲300mm 크기의 반도체 웨이퍼 100장을 한 번에 처리할 수 있는 배치 방식 ALD 장비 아토믹 데카(Atomic Deka), ▲배터리 소재에 활용되는 나노 크기의 미세한 분말 입자에 박막을 균일하게 입히는 아토믹 쉘(Atomic Shell), ▲반도체 후공정의 미세한 홀(Hole) 내부에 얇은 막을 균일하게 입혀 제품의 성능과 수명을 크게 개선할 수 있는 후공정 ALD(PCB·TSV·TGV 공정) 등이다.

정 대표는 "OLED 증착 장비를 연구용으로 시작해 양산 장비까지 확장하며 큰 성공을 거둔 선익시스템의 사업 모델을 벤치마킹하고 있다"면서 "씨엔원 역시 R&D 시장에서 다진 기술력과 고객 신뢰를 바탕으로 양산 장비 시장에서도 성공 사례를 만들어가겠다"고 강조했다.

씨엔원의 작년 매출은 178억원으로 전년 대비 64%나 증가했다. 이익률도 10% 가까이 된다. 꾸준히 흑자를 내며 안정적인 재무구조를 갖췄다. 양산 장비 시장으로 진출하면 매출 볼륨은 보다 큰 폭으로 성장이 가능하다고 정 대표는 설명했다.

회사는 당분간 상장 추진은 하지 않겠다는 뜻을 밝혔다. 그간 쌓아둔 이익으로 충분히 성장 가능하다는 의미다. 정 대표는 "독자 기술 경쟁력을 더욱 높이는 데 집중할 방침"이라고 말했다.

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출처 : 전자부품 전문 미디어 디일렉(http://www.thelec.kr)